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Présentation du produit
Le MKS Instruments MC20A-30190 est un régulateur de débit massique thermique entièrement numérique et haute performance, conçu pour réguler la distribution de gaz de procédé avec une vitesse et une précision exceptionnelles. Faisant partie de la gamme de produits ALTA™, cet appareil intègre un capteur de débit massique thermique spécialisé, un contrôleur à rétroaction en boucle fermée à action rapide et une vanne de régulation à étanchéité métallique dans un encombrement compact unique. Conçue pour répondre aux exigences strictes de débit des outils et d'appariement précis des chambres, l'unité offre des temps de stabilisation des gaz ultra-rapides et dispose d'une banque de mémoire d'étalonnage multi-gaz intégrée.
✦ Tension d'entrée requise : 11 à 25 VDC
✦ Différentiel de pression de fonctionnement normal : 10 à 40 psid
✦ Courant maximal en régime permanent : 475 mA de consommation de courant maximale
✦ Limites de température de fonctionnement : 0 °C à +50 °C (32 °F à 122 °F) marge standard de l'armoire opérationnelle
✦ Enveloppe de température de stockage : -20 °C à +65 °C (-4 °F à 149 °F)
✦ Signalisation analogique d'entrée/sortie de débit : commande de point de consigne de 0 à 5 VDC et boucle de suivi de sortie
Applications par industrie
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Fabrication de dispositifs semi-conducteurs : |
Déployé largement à l'intérieur des rampes de distribution de gaz pour alimenter des masses exactes de gaz de procédé dans les chambres d'outils de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de gravure au plasma. |
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Revêtement en couches minces de haute pureté : |
Intégré dans les lignes de fabrication de lentilles optiques, de verre et de cellules solaires pour assurer une croissance uniforme des couches minces grâce à des paramètres de débit massique stables. |
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Fabrication pharmaceutique et médicale : |
Mis en œuvre dans des environnements de salle blanche pour maintenir un équilibre strict de gaz porteurs spécialisés lors de la synthèse de médicaments et des traitements sous vide de dispositifs médicaux. |
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Services publics de mélange et de distribution de gaz : |
Utilisé comme nœud numérique localisé pour réguler en continu les flux d'alimentation multi-gaz, enregistrant la télémétrie en temps réel vers un nœud maître PLC centralisé via les protocoles DeviceNet. |
Industrie et marque
✅ Pétrole, usines chimiques : ABB, Bently Nevada, HIMA, Invensys, Westinghouse, Philips
✅ Marine/Navires : ABB, GE
✅ Métros, chemins de fer : AB (Allen-Bradley), Schneider, Invensys
✅ Verreries : AB (Allen-Bradley)
✅ Imprimeries : AB (Allen-Bradley), GE
✅ Centrales hydroélectriques : AB (Allen-Bradley), GE, Schneider
✅ Cimenteries : AB (Allen-Bradley), Schneider
✅ Centrales éoliennes : ABB, Bachmann
✅ Énergie nucléaire : AB (Allen-Bradley), ABB, Invensys, Emerson
✅ Énergie thermique, aciéries : Honeywell, ABB
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Un service pour vous
✅ 10 ans d'expérience commerciale dans le domaine des composants de systèmes de contrôle.
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