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Présentation du produit
LeInstruments MKS MC20A-30134Ce régulateur de débit massique thermique entièrement numérique et haute performance fait partie de la gamme ALTA™. Il intègre un capteur de débit massique thermique spécialisé, un régulateur à boucle fermée à action rapide et une vanne de régulation étanche entièrement métallique, le tout dans un format compact. Conçu pour répondre aux exigences strictes de débit des outils et d'adaptation précise des chambres, il offre des temps de stabilisation des gaz ultra-rapides et dispose d'une mémoire d'étalonnage multigaz intégrée.
✦ Tension d'entrée requise : 11 à 25 V CC
✦ Courant maximal en régime permanent : 475 mA
✦ Différentiel de pression de fonctionnement normal : 10 à 40 psid
✦ Limites de température de fonctionnement : 0 °C à +50 °C (32 °F à 122 °F), marge de fonctionnement standard de l’armoire
✦ Enveloppe de température de stockage : -20 °C à +65 °C (-4 °F à 149 °F)
✦ Signalisation analogique d'entrée/sortie de débit : boucle de suivi de consigne et de sortie de 0 à 5 V CC
Applications par secteur d'activité
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Fabrication de dispositifs semi-conducteurs : |
Largement utilisés à l'intérieur des conduites d'alimentation en gaz pour introduire des masses exactes de gaz de procédé dans les chambres des outils de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de gravure plasma. |
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Revêtement en couche mince de haute pureté : |
Intégrés aux processus de fabrication des lentilles optiques, du verre et des cellules solaires pour assurer une croissance uniforme de la couche de film grâce à des paramètres de flux de masse constants. |
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Fabrication pharmaceutique et médicale : |
Mise en œuvre dans des environnements de salles blanches pour maintenir un équilibre strict des gaz vecteurs spécialisés lors de la synthèse de médicaments et des traitements sous vide des dispositifs médicaux. |
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Services publics de mélange et de distribution de gaz : |
Utilisé comme nœud numérique localisé pour réguler en continu les flux d'alimentation en plusieurs gaz, enregistrant la télémétrie en temps réel et la renvoyant à un nœud maître PLC centralisé via les protocoles DeviceNet. |
Industrie et marque
✅ Pétrole, usines chimiques : ABB, Bently Nevada, HIMA, Invensys, Westinghouse, Philips
✅ Marine/Navires : ABB, GE
✅ Métros, chemins de fer : AB (Allen-Bradley), Schneider, Invensys
✅ Verreries : AB (Allen-Bradley)
✅ Imprimeries : AB (Allen-Bradley), GE
✅ Centrales hydroélectriques : AB (Allen-Bradley), GE, Schneider
✅ Cimenteries : AB (Allen-Bradley), Schneider
✅ Centrales éoliennes : ABB, Bachmann
✅ Énergie nucléaire : AB (Allen-Bradley), ABB, Invensys, Emerson
✅ Énergie thermique, aciéries : Honeywell, ABB
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