LeVerteq1078234.5.1 1069347.3 Il s'agit d'un système de transformateur d'adaptation d'impédance RF haute fréquence conçu pour les applications de nettoyage mégasonique spécialisées dans la fabrication de semi-conducteurs. Il agit comme un réseau d'équilibrage passif en ligne, positionné entre un générateur acoustique haute fréquence central et un réseau de transducteurs piézoélectriques montés sur quartz. En adaptant dynamiquement les caractéristiques de charge électrique et en annulant l'impédance réactive, le module garantit une conversion de puissance directe maximale, maintient une distribution uniforme des ondes acoustiques dans les cuves de fluide de traitement et protège les circuits électroniques complexes des énergies d'ondes réfléchies dangereuses.

Niveau d'impédance primaire :

50 Ω (Ohms)

Spectre de fréquence de résonance :

830 kHz à 870 kHz

Environnement ambiant opérationnel :

15°C à +40°C

Tension RF maximale (V_RMS) :

150 V à 300 V RMS

Capacité de courant RF (I_RMS) :

3A à 8A RMS

Uniformité des ondes acoustiques :Optimise la diffusion de l'énergie acoustique pour éviter les « points chauds » ou les zones mortes localisés à l'intérieur du réservoir de fluide chimique, assurant ainsi un nettoyage uniforme sur toute la surface du substrat.

Suppression de l'énergie réfléchie :Réduit efficacement le rapport d'ondes stationnaires (ROS) de tension à près de 1:1, empêchant ainsi l'énergie de retour de se transformer en chaleur destructive à l'intérieur du générateur RF en amont.

Prévention des dommages aux plaquettes :Stabilise les seuils de cavitation à haute fréquence pour éliminer en toute sécurité les particules organiques submicroniques sans fracturer les structures délicates des plaquettes à rapport d'aspect élevé.

Boîtier résistant à la corrosion :Encapsulé dans des matériaux de haute pureté et chimiquement inertes, compatibles avec les environnements chimiques difficiles des salles blanches et des paillasses humides.