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Catégorie de produit : Famille d'assemblages de filtres Pall Mini-Gaskleen® 3000 / Hi-Flow

État du produit :Neuf et original

Code tarifaire :85371091

Description du produit :

Ensemble de filtre à haut débit PALL GLFPF3000VMF4

Le Pall GLFPF3000VMF4 est un système de filtration de gaz en ligne ultra-pur (3 000 psi). Ce modèle Pall GLFPF3000VMF4 est doté d'un boîtier en acier inoxydable électropoli pour le contrôle des particules au point d'utilisation dans la fabrication de semi-conducteurs.

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-Détails du produit

LePall GLFPF3000VMF4Il s'agit d'un ensemble de filtration de gaz en ligne ultra-pur, conçu spécifiquement pour la filtration au point d'utilisation dans les conduites de gaz de process des semi-conducteurs et de la microélectronique. Son boîtier en acier inoxydable 316L électropoli présente une finition de surface interne supérieure empêchant le détachement de particules. À l'intérieur, il renferme un élément filtrant entièrement en fluoropolymère offrant une compatibilité chimique exceptionnelle avec les gaz spéciaux inertes, toxiques et hautement corrosifs.

vous Caractéristiques électriques : 0 A / 0 V

vous Pression de service maximale : 20,7 MPa à 121 °C

vous Température de fonctionnement maximale : 121 °C (250 °F)

vous Profils de dégazage :

vous Raccordement : 1/4" VCR (joint d'étanchéité)

-Applications

❖ Fabrication de plaquettes de semi-conducteurs : Installé directement aux points de dépôt des outils (POU) pour éliminer la contamination particulaire submicronique provenant des gaz critiques des procédés de dépôt, de gravure et de photolithographie.

❖ Armoires à gaz à ultra-haute pureté (UHP) : Intégrées dans les collecteurs de distribution de gaz en vrac, les panneaux de purge et les armoires à gaz manipulant des gaz hautement réactifs, corrosifs ou toxiques.

❖ Isolation des instruments de salle blanche : protection des régulateurs de débit massique (MFC) à tolérance fine, des régulateurs de pression et des instruments d’analyse olfactive contre les débris particulaires en amont.

- Nos marques à avantage

PLC : AB, ABB, GE, Schneider

DCS : ABB, Siemens Moore, Foxboro, Westinghouse, YOKOGAWA

ESD : Triconex, HIMA, BENTLY NEVADA, ICS

Cartes d'excitation : ABB, GE Marke

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