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Présentation du produit
LeInstruments MKS 627D11TBC1B Ce manomètre capacitif absolu à température contrôlée, de qualité industrielle, est conçu pour fournir des mesures de pression précises, fiables et répétables. Grâce à un système de chauffage interne du capteur à une température rigoureusement régulée, il réduit considérablement l'influence des variations thermiques ambiantes. Doté de surfaces en contact avec le fluide entièrement soudées en Inconel® résistant à la corrosion, il mesure la pression totale du gaz directement et indépendamment de sa composition.
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Ø Plage de pression maximale : 10 Torr Ø Alimentation requise : Nécessite une alimentation externe à double rail de ±15 V CC (±5 %). Ø Consommation de courant maximale : Boucle logique ultra-efficace consommant 250 mA ou moins en continu Ø Sortie de signal analogique : fournit un signal de sortie analogique de niveau élevé de 0 à 10 V CC. Ø Température ambiante de fonctionnement : Conçu pour fonctionner parfaitement dans une plage de températures extérieures comprises entre 15 °C et 40 °C. |
Applications et cas d'utilisation
➟ Contrôle de la gravure et du dépôt des semi-conducteurs : surveillance des seuils critiques de faible vide à l’intérieur des outils de gravure plasma haute puissance et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
➟ Infrastructures de surveillance des gaz corrosifs : Suivi sécurisé des pressions de gaz dans les pipelines transportant des fluides sales ou très réactifs grâce à sa structure robuste en Inconel®.
➟ Traitement thermique sous vide à haut rendement : constituant la base de la vérification précise de la pression dans les usines de revêtement en couches minces ou les chambres à vide de simulation aérospatiale spécialisées.
➟ Instruments analytiques et boucles de recherche : Fourniture de télémétrie sous vide indépendante des gaz aux systèmes d’automatisation sophistiqués des usines intelligentes ou aux boucles d’analyse des gaz.
Secteur d'application
1. Industrie de l'énergie, industrie des ascenseurs, parking, automobile, support automobile.
2. Industrie de l'alimentation animale, machines de fusion de l'aluminium, industrie de la réfrigération.
3. Industrie sidérurgique, système de contrôle de la combustion, fusion des métaux non ferreux.
4. Industrie du verre, machines d'ingénierie, machines textiles, traitement de l'eau.
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