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Présentation du produit
LeMillipore Tylan FC-2911V H2 30SLM DC01333002Ce régulateur de débit massique (MFC) de haute précision est spécialement conçu pour mesurer et contrôler le débit d'hydrogène (H₂) dans des environnements industriels et de recherche exigeants. Il offre une précision et une fiabilité inégalées, garantissant des performances constantes pour une large gamme d'applications, de la fabrication de semi-conducteurs aux procédés chimiques.
vous Tension d'alimentation : Fonctionnement à double rail, acceptant une tension continue de ±12 V à ±18 V.
vous Courant de fonctionnement : Faible charge équilibrée, généralement inférieure à 200 mA afin de minimiser les variations de l’alimentation.
vous Température de fonctionnement : plage de température ambiante industrielle de 5 °C à +50 °C
vous Débit maximal : 30 SLM (litres standard par minute)
vous Connexion d'interface : connecteur électrique subminiature à 15 broches de type D
vous Norme du signal d'E/S : Signal de consigne linéaire standard 0-5 V CC et de surveillance du débit.
Applications industrielles
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Fabrication de plaquettes semi-conductrices :Fournit des débits de H₂ précis lors des processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), d'épitaxie et de diffusion. |
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Revêtement sous vide et traitement des couches minces :Gère l'injection de gaz de procédé dans les chambres à vide industrielles de haute pureté et les systèmes de pulvérisation cathodique. |
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Systèmes de mélange de gaz :Il agit comme un contrôleur de ligne de terminaison fiable dans les systèmes de distribution de gaz mélangés où la stabilité thermique est essentielle. |
Industrie d'application
1. Industrie de l'énergie, industrie des ascenseurs, parkings, automobile, équipement automobile.
2. Industrie de l'alimentation animale, machines de fusion de l'aluminium, industrie de la réfrigération.
3. Industrie sidérurgique, système de contrôle de combustion, fusion des métaux non ferreux.
4. Industrie du verre, machines d'ingénierie, machines textiles, traitement de l'eau.
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