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हिन्दीTél : +86 17359287459
E-mail : sales9@apterpower.com
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Informations sur le produit
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Le régulateur de débit massique liquide-vapeur ASM LVC-414-3 54-107950A15 est un dispositif de haute précision conçu pour l'intégration dans les équipements de traitement de plaquettes de semi-conducteurs, notamment les systèmes de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de dépôt de couches atomiques (ALD). Ce module intelligent mesure et régule avec précision le débit massique des gaz vecteurs lors de leur passage à travers les barboteurs chimiques. Ces derniers permettent l'incorporation et la distribution des dopants précurseurs dans la chambre de traitement. Doté de circuits de gaz internes robustes, de haute pureté et résistants aux produits chimiques, ainsi que d'une interface de commande analogique/numérique, le LVC-414-3 prévient la condensation des précurseurs, garantit des rapports de concentration vapeur/gaz très constants et assure l'uniformité du film et la stabilité du procédé, même en conditions critiques de vide en salle blanche. |
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Alimentation logique opérationnelle standard : ±15 V CC Interface d'entrée de commande/consigne : analogique 0 à 5 V CC Interface de surveillance du flux de sortie : analogique 0 à 5 V CC |
Température ambiante de fonctionnement : 5 °C à 50 °C Pression maximale du système : 10 bar Norme d'intégrité des fuites : ≤ 1 × 10⁻⁹ atm·cm³/s Hélium |
Grandes entreprises
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AnyBus (Passerelle) |
écran industriel basse fréquence |
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Module d'entrée/sortie à distance (RTU) |
produits auxiliaires liés au contrôle industriel |
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PC industriel (IPC) |
interface homme-machine |
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Automate programmable (PLC) |
Disques durs de faible capacité pour usage industriel SCSI |
Autres produits
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IS200TRLYH1BGG |
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6ES7155-6AU00-0CN0 |
6ES7350-2AH01-0AE0 |
IS215VPROH1BE |
IS200EPSMG1ADC |
FAQ
N° 1 : Puis-je payer l'acompte d'avance si j'achète plusieurs articles ?
Dès réception de votre acompte, nous demanderons à l'entrepôt de commencer à préparer la marchandise pour vous.
N°2 : Puis-je bénéficier d'une réduction ?
Le prix est négociable, et nous vous proposerons le prix juste en fonction de la quantité commandée.
N° 3 : Combien dois-je payer pour les frais de livraison ?
Cela dépend du poids des marchandises, du mode de livraison express choisi et de la destination.
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